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同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR係列接頭一（yī）樣，因其（qí）超潔淨、高精度、真空（kōng）高壓皆無泄漏及超長壽...
同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR係列接頭（tóu）一樣，因其超潔淨、高精（jīng）度、真空高壓皆無（wú）泄（xiè）漏及超長壽...
超純低壓手動隔膜閥 DLM
DLM係列超純低壓手動隔膜閥適用於半（bàn）導體行業（yè）高純氣體低壓工況下（xià）的輸送，產品在采（cǎi）用緊（jǐn）湊設計的同時，實現高CV值（zhí）。在高標準的潔（jié）淨室內生（shēng）產，EP電解拋光處理（lǐ）內表（biǎo）麵，粗糙度可達Ra≤5μin。每個產（chǎn）品都需要經過氦質譜泄漏測試，從（cóng）而保障應（yīng）用安全性。
材料
閥體：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR
閥座：PCTFE/PFA/PI
膜片：鈷（gǔ）基（jī）超級（jí）合金、Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度
PCTFE: -10~80℃
PFA/PI: -10~150℃
最高使用壓力：300psi（20.7Bar）
閥體內漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He
閥體外漏率（lǜ）：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He
|
規格 |
1/4” |
3/8” |
1/2” |
3/4” |
|
CV值（流量係數） |
0.27 |
0.27-0.7 |
0.7 |
1.7 |
內表麵粗糙度
BA級：Ra≤10μin（0.25μm）
EP級：Ra≤5μin （0.13μm）
連接選擇：VCR公（gōng）頭、VCR母頭、卡套接頭、對焊管接頭
| 編碼 | 兩端接頭 | A(mm) | B(mm) | C(mm) | D(mm) | E(mm) | F(mm) | G(mm) |
| DLM04M | 1/4"VCR公頭 | 57 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06M | 3/8"VCR公頭 | 77 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08M | 1/2"VCR公頭（tóu） | 77 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12M | 3/4"VCR公（gōng）頭 | 107 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
| DLM04F | 1/4"VCR母頭 | 70.6 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06F | 3/8"VCR母頭 | 83 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08F | 1/2"VCR母頭 | 83 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12F | 3/4"VCR母頭 | 179.2 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
| DLM04T | 1/4"卡套接頭 | 48 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06T | 3/8"卡套接頭 | 64 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08T | 1/2"卡套接頭 | 64 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12T | 3/4"卡套接（jiē）頭 | 126 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
| DLM04W | 1/4"對焊 | 54 | 11 | 63 | 40 | 25 | 26 | 25.4 |
| DLM06W | 3/8"對焊 | 69 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM08W | 1/2"對焊 | 69 | 16 | 76 | 40 | 36 | 36 | 28 |
| DLM12W | 3/4"對焊 | 156 | 23 | 82.8 | 40 | 46 | 48 | 35 |
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