超純低流量單（dān）級減壓閥 PRL

超純低流量（liàng）單級減（jiǎn）壓閥 PRL

PRL係列超（chāo）純低流量單級減壓閥采用單級膜片式硬密封設計，超低（dī）漏率，內部EP電（diàn）解拋光（guāng）處理（lǐ），超低內表麵（miàn）粗糙度。適用於半導體行業使用的高純（chún）度氣體，具有卓越的重複性，穩定性及靈敏（mǐn）度。每台減（jiǎn）壓閥（fá）出廠前（qián）都會進行單獨的壓力測試、氦質譜泄漏測試和顆粒（lì）物檢測。

材料

閥體：SS316L、SS316L VAR

閥座：PCTFE/PI

膜片、提升閥芯： Hastelloy C-22、SS316L

使用溫度

PCTFE: -40~80℃

PI: -26~177℃

閥體內漏率：≤2.0x10-10 Pa･m3/sec He

閥體外漏率：≤2.0x10-9 Pa･m3/sec He

閥座泄（xiè）漏率：≤4.0x10-8 Pa･m3/sec He

內表麵粗糙度

BA級：Ra≤10μin（0.25μm）

EP級（jí）：Ra≤5μin （0.13μm）

安裝方式：後座安裝、麵（miàn）板安裝

最大進口壓力: 300psi（20.7Bar）

出口（kǒu）壓力:100mm Hg - 10psi

驗（yàn）證壓力：工作壓力的150％

爆（bào）破壓力：工作壓力的300％

流量曲線：

端口配置：

連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、對焊管接頭