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DHM係列超純高（gāo）壓手動隔膜閥適用於半導體行業高純氣（qì）體高壓工況下的輸送，產品在采用緊湊（còu）設計的同時，實現高CV值。在高...
DBM係列聯通隔膜閥，是將兩個LDM或HDM係列超純隔膜閥（兩聯）合二為一的閥門，通過共用配管流路，最大限度縮小（xiǎo）了死區，同時保持優（yōu）異的脫（tuō）氣（qì）...
超純低壓氣動隔膜閥 DLP
DLP係列超純（chún）低壓氣動隔膜閥適用於（yú）半導體行業高純氣（qì）體低壓工（gōng）況下的輸送，產品在采用緊湊設計的同時（shí），實（shí）現高CV值。在（zài）高標準的潔（jié）淨室（shì）內生產，EP電解拋（pāo）光處理（lǐ）內表麵，粗（cū）糙度可達Ra≤5μin。每個產品都需要（yào）經過氦質（zhì）譜泄（xiè）漏（lòu）測試，從而保障應用安全性。
材料
閥（fá）體：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR
閥座：PCTFE/PFA/PI
膜片：鈷基超（chāo）級合金、Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度
PCTFE: -10~80℃
PFA/PI: -10~150℃
最（zuì）高使用壓力：250psi（17.2bar）
閥體內漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He
閥體外漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He
|
規格（gé） |
1/4” |
3/8” |
1/2” |
3/4” |
|
CV值（流量（liàng）係數） |
0.27 |
0.27-0.7 |
0.7 |
1.7 |
內表麵粗糙度
BA級：Ra≤10μin（0.25μm）
EP級：Ra≤5μin （0.13μm）
連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、卡套接頭、對焊管接頭
氣動操作選擇：常閉（NC）、常開（NO）
尺寸僅供參考, 實物可能會變動。
編碼（mǎ）
兩端接頭
A(mm)
B(mm)
C(mm)
D(mm)
E(mm)
F(mm)
G(mm)
常（cháng）閉NC
常開NO
DLPC04M
DLPO04M
1/4"VCR公頭
57
11
67/67
40
25
26
25.4
DLPC06M
DLPO06M
3/8"VCR公頭
77
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC08M
DLPO08M
1/2"VCR公頭
77
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC12M
DLPO12M
3/4"VCR公頭
107
23
148/143
85
46
48
35
DLPC04F
DLPO04F
1/4"VCR母頭
70.6
11
67/67
40
25
26
25.4
DLPC06F
DLPO06F
3/8"VCR母頭
83
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC08F
DLPO08F
1/2"VCR母頭
83
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC12F
DLPO12F
3/4"VCR母頭（tóu）
179.2
23
148/143
85
46
48
35
DLPC04T
DLPO04T
1/4"卡套接頭
48
11
67/67
40
25
26
25.4
DLPC06T
DLPO06T
3/8"卡套接頭
64
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC08T
DLPO08T
1/2"卡套接頭
64
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC12T
DLPO12T
3/4"卡套接頭
126
23
148/143
85
46
48
35
DLPC04W
DLPO04W
1/4"對焊（hàn）
54
11
67/67
40
25
26
25.4
DLPC06W
DLPO06W
3/8"對焊
69
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC08W
DLPO08W
1/2"對焊
69
16
84/77.5
55
36
36
28
DLPC12W
DLPO12W
3/4"對焊
156
23
148/143
85
46
48
35
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