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CVS係列不鏽（xiù）鋼單向閥固定開啟壓力，多（duō）種開啟壓力可選，閥體采用高品質SS316L材質，內表麵可（kě）選擇（zé）EP電解拋光，高潔（jié）淨處理，脫脂+精密清...
同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR係列（liè）接頭一樣，因（yīn）其超潔淨、高精度、真空高壓皆（jiē）無泄漏及超長壽（shòu）...
超純中低流量單級減壓閥 PRLI
PRLI係列超純低流量單級減壓閥采用單級（jí）膜片式硬密封設計，超低漏率，內部EP電解拋光處理，超低內表麵粗（cū）糙度。高壓輸入（rù）（最高（gāo）可（kě）達3500Psi），低壓標（biāo）準流量輸出，輸出壓力穩定，適用於半導體行（háng）業使用的高純度氣體。每（měi）台減壓閥（fá）出廠前都會進行單獨（dú）的壓力測試、氦質譜泄漏測試和顆粒物檢測。
材料
閥體：SS316L、SS316L VAR、Hastelloy C-22
閥座：PCTFE/PI
膜片、提升閥芯： Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度（dù）
PCTFE: -40~80°C
PI: -26~177℃
閥（fá）體（tǐ）內漏率：≤2.0x10-10 Pa･m3/sec He
閥體外漏率：≤2.0x10-9 Pa･m3/sec He
閥（fá）座泄漏率：≤4.0x10-8 Pa･m3/sec He
內表麵粗糙度
BA級：Ra≤10μin（0.25μm）
EP級：Ra≤5μin （0.13μm）
安裝方式：後座安裝、麵板安裝
最大進（jìn）口壓力: 3500psi（241Bar）
出口壓力: 1-150psi（詳見選型表）
驗證壓力：工作壓力的（de）150％
爆破壓力：工作壓力的300％
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規格 |
1/4” |
3/8” |
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CV值（流量（liàng）係數（shù）） |
0.09（標準）/0.15（高（gāo）流量HF） |
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內部容積 |
0.49 in3 (8 cm3 ) |
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供壓效應：標準:0.25%, 高（gāo）流量HF:0.75%
流量曲線：
端口配置：
連接選擇：
VCR公頭、VCR母頭、對焊管接頭（tóu）
| 編碼 | 進（jìn）口（kǒu）壓力 | 出口壓力 | 兩端接頭 | A(mm) |
| PRLI1004M/F | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI3004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI6004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI10004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI15004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI1006M/F | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI3006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI6006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI10006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 3/8"VCR公/母（mǔ）頭 | 119 |
| PRLI15006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI1004W | 真空（kōng）-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 1/4"對焊 | 75 |
| PRLI3004W | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 1/4"對焊 | 75 |
| PRLI6004W | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 1/4"對焊 | 75 |
| PRLI10004W | 真空（kōng）-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 1/4"對焊 | 75 |
| PRLI15004W | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 1/4"對焊 | 75 |
| PRLI1006W | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 3/8"對焊 | 75 |
| PRLI3006W | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 3/8"對焊 | 75 |
| PRLI6006W | 真空（kōng）-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 3/8"對焊 | 75 |
| PRLI10006W | 真（zhēn）空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 3/8"對焊 | 75 |
| PRLI15006W | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 3/8"對（duì）焊 | 75 |
尺寸僅（jǐn）供參考, 實物可能會變動。
高（gāo）流量款，請在編號後（hòu）+HF；多孔端口，請在編（biān）碼後加孔數+PW
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