021-57712303 / 021-57712166
PRL係列超純低流量單級減壓閥采用單級膜（mó）片式硬密封設計，超低（dī）漏率，內（nèi）部EP電解拋光處理，超低內表麵粗糙度。適用於半導體行...
同swagelok的（de）VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR係列接頭一樣，因其超潔淨、高精度、真空高壓皆無泄漏及超長壽...
超純高流量減壓閥 PRH
PRH係列超純高流量減壓閥采用單級膜片式硬密封設計，超低漏率，內部EP電解拋光處理，超低內表麵粗糙度。高壓（yā）輸（shū）入（最高可達3500Psi），低壓輸出時滿足高流（liú）量的要求。適用於半導體行業使用的高（gāo）純度（dù）氣體。每台減壓閥出廠前都會進行單獨的壓力測試、氦質譜泄漏測試（shì）和顆粒物（wù）檢測（cè）。
材料
閥體：SS316L、SS316L VAR、Hastelloy C-22
閥座：PCTFE/PI
膜片、提升閥芯： Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度PCTFE: -40~80℃
PI: -26~177℃
閥體內漏率：≤2.0x10-10 Pa･m3/sec He
閥（fá）體外漏率：≤2.0x10-9 Pa･m3/sec He
閥座泄漏率：≤4.0x10-8 Pa･m3/sec He
內（nèi）表麵粗（cū）糙度
BA級：Ra≤10μin（0.25μm）
EP級：Ra≤5μin （0.13μm）
安裝方（fāng）式：後座安裝、麵板安裝
最大進口壓力: 標準及高流量款HF 1700psi (117bar)、應力補償款FC 300psig (21bar)、 高壓款（kuǎn）HR 3500psi（241Bar）
出口壓力: 1-150psi（詳見（jiàn）選型表）
驗證壓力：工作壓力的150％
爆破壓力：工作壓力的300％
|
規格 |
1/4” |
3/8”“ |
1/2” |
3/4” |
|
CV值（流量係數） |
0.65（應力補償FC）、0.9（標準）、0.15（高流量HF） |
|||
|
內部容積 |
1.07in3 (17.6 cm3 ) |
|||
供壓效應：標準款3.5%,、高流量（liàng）款HF和應力補償款（kuǎn）FC:4.2%
流量曲線：
端口配置：
連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、對焊管接頭
尺寸僅供參考, 實物可能會變動。
編碼
進口（kǒu）壓力
出口壓力
兩端接頭
A(mm)
B(mm)
PRH3004M/F
真空-1700psi (117bar)
1-30psi(0.07-2.0bar)
1/4"VCR公/母頭
55
102/94
PRH6004M/F
2-60psi (0.14-4.0bar)
1/4"VCR公/母頭
55
102/94
PRH10004M/F
2-100psi
(0.14-7.0bar)
1/4"VCR公/母頭
55
102/94
PRH15004M/F
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/4"VCR公/母頭
55
102/94
PRH3006M/F
1-30psi(0.07-2.0bar)
3/8"VCR公/母頭
64
133
PRH6006M/F
2-60psi (0.14-4.0bar)
3/8"VCR公/母頭
64
133
PRH10006M/F
2-100psi
(0.14-7.0bar)
3/8"VCR公/母頭
64
133
PRH15006M/F
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/8"VCR公/母頭（tóu）
64
133
PRH3008M/F
1-30psi(0.07-2.0bar)
1/2"VCR公/母頭
64
133
PRH6008M/F
2-60psi (0.14-4.0bar)
1/2"VCR公/母頭
64
133
PRH10008M/F
2-100psi
(0.14-7.0bar)
1/2"VCR公（gōng）/母頭
64
133
PRH15008M/F
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/2"VCR公/母頭
64
133
PRH3012M/F
1-30psi(0.07-2.0bar)
3/4"VCR公/母頭
64
159
PRH6012M/F
2-60psi (0.14-4.0bar)
3/4"VCR公/母頭
64
159
PRH10012M/F
2-100psi
(0.14-7.0bar)
3/4"VCR公（gōng）/母頭
64
159
PRH15012M/F
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/4"VCR公/母頭
64
159
PRH3004M/F-HF
真空-1700psi (117bar)
1-30psi(0.07-2.0bar)
1/4"VCR公/母頭
55
102/94
PRH6004M/F-HF
2-60psi (0.14-4.0bar)
1/4"VCR公/母頭（tóu）
55
102/94
PRH10004M/F-HF
2-100psi
(0.14-7.0bar)
1/4"VCR公/母（mǔ）頭（tóu）
55
102/94
PRH15004M/F-HF
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/4"VCR公/母頭
55
102/94
PRH3006M/F-HF
1-30psi(0.07-2.0bar)
3/8"VCR公/母頭
64
133
PRH6006M/F-HF
2-60psi (0.14-4.0bar)
3/8"VCR公/母頭
64
133
PRH10006M/F-HF
2-100psi
(0.14-7.0bar)
3/8"VCR公/母頭
64
133
PRH15006M/F-HF
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/8"VCR公/母頭
64
133
PRH3008M/F-HF
1-30psi(0.07-2.0bar)
1/2"VCR公/母頭
64
133
PRH6008M/F-HF
2-60psi (0.14-4.0bar)
1/2"VCR公/母頭
64
133
PRH10008M/F-HF
2-100psi
(0.14-7.0bar)
1/2"VCR公/母頭
64
133
PRH15008M/F-HF
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/2"VCR公（gōng）/母頭
64
133
PRH3012M/F-HF
1-30psi(0.07-2.0bar)
3/4"VCR公（gōng）/母頭
64
159
PRH6012M/F-HF
2-60psi (0.14-4.0bar)
3/4"VCR公/母頭
64
159
PRH10012M/F-HF
2-100psi
(0.14-7.0bar)
3/4"VCR公/母頭
64
159
PRH15012M/F-HF
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/4"VCR公/母頭
64
159
PRH10004M/F-FC
真空-300psi (21bar)
2-100psi
(0.14-7.0bar)
1/4"VCR公（gōng）/母頭（tóu）
55
102/94
PRH15004M/F-FC
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/4"VCR公/母頭（tóu）
55
102/94
PRH10006M/F-FC
2-100psi (0.14-7.0bar)
3/8"VCR公/母頭
64
133
PRH15006M/F-FC
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/8"VCR公/母頭（tóu）
64
133
PRH10008M/F-FC
2-100psi (0.14-7.0bar)
1/2"VCR公/母頭（tóu）
64
133
PRH15008M/F-FC
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/2"VCR公/母頭
64
133
PRH10012M/F-FC
2-100psi (0.14-7.0bar)
3/4"VCR公/母（mǔ）頭
64
159
PRH15012M/F-FC
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/4"VCR公/母頭（tóu）
64
159
PRH10004M/F-HR
真空-3500psi (241bar)
2-100psi (0.14-7.0bar)
1/4"VCR公/母頭
55
102/94
PRH15004M/F-HR
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/4"VCR公/母頭
55
102/94
PRH10006M/F-HR
2-100psi
(0.14-7.0bar)
3/8"VCR公/母頭
64
133
PRH15006M/F-HR
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/8"VCR公/母頭
64
133
PRH10008M/F-HR
2-100psi
(0.14-7.0bar)
1/2"VCR公/母頭
64
133
PRH15008M/F-HR
5-150psi
(0.34-10.0bar)
1/2"VCR公/母頭
64
133
PRH10012M/F-HR
2-100psi
(0.14-7.0bar)
3/4"VCR公/母頭
64
159
PRH15012M/F-HR
5-150psi
(0.34-10.0bar)
3/4"VCR公/母頭
64
159
多孔端口，請在編碼後加孔數+PW；本款同時可提供對焊連接(具體型號請聯係存簡（jiǎn）)
我們24小時內會與您聯（lián）係
